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高品質バルクGaN成長に適した気相成長条件および結晶成長プロセスの解明

高品質バルクGaN成長に適した気相成長条件および結晶成長プロセスの解明
Digital図書
河村, 貴宏三重大学2021-04-30
Other Libraries in Japan
  • Summary, etc....くなることを示した。(2)ではOVPE成長条件下ではGa分圧が増加するにしたがってO不純物を取り込みや...
  • Subject Heading窒化ガリウム 第一原理計算 不純物 OVPE成長

大型バルクGaN単結晶の開発に向けた結晶成長機構の解明

大型バルクGaN単結晶の開発に向けた結晶成長機構の解明
Digital図書
河村, 貴宏三重大学2018-05-08
Other Libraries in Japan
  • Summary, etc....を明らかにした。また(2)ではOVPE成長条件下における安定な結晶表面楮の解析を行い、結晶表面からのO...
  • Subject Heading窒化ガリウム 結晶成長 第一原理計算 Naフラックス成長 OVPE成長 不純物

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