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Silicon wet bulk micromachining for MEMS
Silicon wet bulk micromachining for MEMS
紙
図書
Prem Pal, Kasuo Sato.
Pan Stanford Publishing
[2017]
<ND371-B108>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 普及版 (新材料・新素材シリーズ)
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 普及版 (新材料・新素材シリーズ)
紙
図書
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩 監修
シーエムシー出版
2016.3
<ND371-L82>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01180864
00865926
01180867
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ([新材料・新素材シリーズ])
マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ([新材料・新素材シリーズ])
紙
図書
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩 監修
シーエムシー出版
2009.10
<ND371-J96>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01180864
00865926
01180867
創造性モノづくり実習マニュアル : 大学版
創造性モノづくり実習マニュアル : 大学版
紙
図書
佐藤一雄 編著
名古屋大学創造性モノづくり教育研究会
2007.10
<YU7-J9>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
紙
図書
佐藤一雄, 名古屋大学 [著]
[佐藤一雄]
2002-2004
<Y151-H14205016>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
00260057
マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究
マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究
紙
図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学
1998-2000
<Y151-H10305008>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究
シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究
紙
図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学
1998-1999
<Y151-H10044149>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
シリコンマイクロ加工の基礎
シリコンマイクロ加工の基礎
紙
図書
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著, 田畑修, 佐藤一雄 訳
シュプリンガー・フェアラーク東京
2001.12
<ND371-G193>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
00865923 00865924 00674558
00865926
シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究
シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究
紙
図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学
1996-1997
<Y151-H08455045>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
薄肉円管の曲げ加工における変形機構および材料特性
薄肉円管の曲げ加工における変形機構および材料特性
紙
博士論文
佐藤一雄 [著]
<UT51-58-G557>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
00865926
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