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ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
ペニング放電型エチング・スパツタリング法による連続膜作成に関する基礎的研究
紙
図書
中山, 登史男, 山口東京理科大学
1997-1998
<Y151-H09650798>
国立国会図書館
件名
マイクロスパツタリング エツチング 薄膜形成 ミリ加工
ミクロン加工
空気静圧主軸搭載の工作機械による高速・サブミクロン・エンドミル加工に関する研究
空気静圧主軸搭載の工作機械による高速・サブミクロン・エンドミル加工に関する研究
紙
図書
岩部, 洋育, 新潟大学
1997-1998
<Y151-H09650132>
国立国会図書館
件名
エンドミル 高速加工 サブ
ミクロン加工
空気静圧主軸 繰返し段加工 軸方向送り加工 仕上げ面粗さ ...
レーザープラズマX線露光装置の開発
レーザープラズマX線露光装置の開発
紙
図書
中井, 貞雄, 大阪大学
1986-1987
<Y151-S61850071>
国立国会図書館
件名
レーザープラズマ 高出力レーザー レーザー光の波長変換 非線型光学結晶 高輝度点X線源 X線リソグラフイー サブ
ミクロン加工
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