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高分子スパツタ膜と金属との付着性に関する研究
高分子スパツタ膜と金属との付着性に関する研究
紙
図書
山田, 良穂, 金沢大学
1989-1990
<Y151-H01550056>
国立国会図書館
件名
高分子薄膜 RFスパツタリング AE信号 ESCA 引っかき試験 摩擦耐久性
引っ張り法
付着強度
高分子スパッタ膜と金属との付着性に関する研究
高分子スパッタ膜と金属との付着性に関する研究
デジタル
文書・図像類
山田, 良穂, Yamada, Yoshinori
1991-03-01
平成2(1990)年度 科学研究費補助金 一般研究(C) 研究成果報告書 = 1990 Fiscal Year Final Research Report
1989-1990
p.108p.-
全国の図書館
件名
...A 引っかき試験 摩擦耐久性
引っ張り法
付着強度 Thin polymer film RF-spu...
一般注記
...数と臨界荷重を測定した。さらに
引っ張り法
により金属蒸着膜との付着強度を...
...力で成膜した膜で大きい。(6)
引っ張り法
による金属蒸着膜との付着強度は、Au以外の場合、スパッタ膜面...
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