マイクロ加工技術編集委員会 編日刊工業新聞社1988.9<NB51-E3>
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マイクロ加工技術編集委員会 編日刊工業新聞社1977.4<NB51-35>
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マイクロ加工技術編集委員会（編）日刊工業新聞社1981.
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マイクロ加工技術編集委員会 編日刊工業新聞社1979
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(日)微细加工技术编辑委员会编 ; 朱怀义, 赵巾奎译科学出版社1983.7
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