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気体放電によるプラズマ生成 : 材料プロセスのためのプラズマ生成法

気体放電によるプラズマ生成 : 材料プロセスのためのプラズマ生成法
Digital文書・図像類
真瀬, 寛 / 田辺, 利夫 / 池畑, 隆, MASE, Hiroshi / TANABE, Toshio / IKEHATA, Takashi茨城大学工学部電子工学科1985-12茨城大学工学部研究集報33p.173-180
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静電プリズムイオンエネルギー分析器におけるデコンボリューション処理

静電プリズムイオンエネルギー分析器におけるデコンボリューション処理
Digital文書・図像類
鵜沼, 宗利 / 真瀬, 寛 / 田辺, 利夫 / 池畑, 隆, UNUMA, munetoshi / MASE, hiroshi / TANABE, toshio / IKEHATA, takashi茨城大学工学部1984-09-07茨城大学工学部研究集報32p.161-165
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イオンビームスパッタリングによるRuO_2薄膜の作製

イオンビームスパッタリングによるRuO_2薄膜の作製
Digital文書・図像類
柳田, 建三 / 真瀬, 寛 / 田辺, 利夫 / 竹内, 学 / 長坂, 秀雄, YANAGIDA, kenzo / MASE, hiroshi / TANABE, toshio / TAKEUCHI, manabu / NAGASAKA, hideo茨城大学工学部1984-09-07茨城大学工学部研究集報32p.147-152
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パルス放電における陰極スパッタリングー(Ⅱ)

パルス放電における陰極スパッタリングー(Ⅱ)
Digital文書・図像類
真瀬, 寛 / 田辺, 利夫, MASE, Hiroshi / TANABE, Toshio茨城大学工学部1972-12茨城大学工学部研究集報20p.217-220
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