Masato, OKADA, Ryosuke, SHIDA, Hidehito, WATANABE, Takuya, MIURA, Masaaki, OTSU公益社団法人精密工学会/The Japan Society for Precision Engineering2019-10-05精密工学会誌/Journal of the Japan Society for Precision Engineering85 10p.866-872
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吉岡, 勇人, Yoshioka, Hayato公益社団法人 精密工学会2013精密工学会誌79 2p.187-187
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吉岡, 勇人, Yoshioka, Hayato公益社団法人 精密工学会2011精密工学会誌77 4p.345-348
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平田, 敦, HIRATA, ATSUSHI公益社団法人 精密工学会2010精密工学会誌76 12p.1311-1314
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公益社団法人精密工学会
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公益社団法人精密工学会 プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会
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