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Digital文書・図像類
Other Libraries in Japan
- Subject Heading...ーザツルーイング 砥石作業面 エアジェット 研削焼入れ 表面改質 研削熱 Laser conditio...
- Note (General)...1)については,レーザと同時にエアジェットを砥石作業面に照射することによ......精度に一致させるため,レーザ・エアジェット一体型照射ノズルを開発した.これにより任意の照射角度でのドレ...
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- Subject Heading乾式洗浄 粒子飛散 パルスエアジェット Dry surface cleaning Particle...
- Note (General)...面上に沈着させた微粒子のパルスエアジェットによる飛散実験を行なった.以下......パルスあたりの飛散率は,パルスエアジェット噴射回数に対して指数関数的に減少し,F^*とパルスエアジェット噴射回数の関数として表現できる......金沢大学工学部 出典：「パルスエアジェットによる表面の乾式洗浄」研究成果報告書 課題番号0545230...
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- Subject Heading微粒子 再飛散 パルスエアジェット 表面洗浄 発塵 Wafer Fine Particles ...
- Note (General)...が生じた場合には飛散する。3.エアジェットを表面に当てた場合、粒子の飛散はエアジェットが表面に衝突した瞬間に起こり、......ェットが有効である。4.パルスエアジェットによる粒子の飛散率は、パルスジ......ら除去できる。5.表面にパルスエアジェットを繰り返し噴射した場合、パルス......常に一定に保たれる。6.パルスエアジェットによる粒子の飛散は、ジェット気......て急峻な圧力の立ち上がりをもつエアジェットを作る必要がある。 Resuspension of subm...