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超精密加工機用静圧エアスピンドルの開発

超精密加工機用静圧エアスピンドルの開発
Paper図書
小野, 京右, 東京工業大学1994-1996<Y151-H06555044>
National Diet Library
  • Subject Heading静圧空気軸受 超精密加工機用エアスピンドル 動剛性最大設計 高減衰設計 円周・格子溝軸受 分布スペクトル励振力 応答変位のrms値 エアスピンドル弾性振動解析

ナノダイナミツクス現象の測定・分析・理論検証システムの開発

ナノダイナミツクス現象の測定・分析・理論検証システムの開発
Paper図書
山浦, 弘, 東京工業大学1988-1989<Y151-S63460105>
National Diet Library
  • Subject Headingナノダイナミツクス 静圧エアスピンドル 浮動ヘツド機構 磁気デイスクスピンドル 回転精度 振動特性...

2列円周溝付き給気孔絞り形軸受構造を用いた高性能汎用エアスピンドルの開発

2列円周溝付き給気孔絞り形軸受構造を用いた高性能汎用エアスピンドルの開発
Paper図書
小野, 京右, 東京工業大学1986-1987<Y151-S61850028>
National Diet Library
  • Subject Headingエアスピンドル 高剛性空気軸受 2列円周溝付き給気孔絞り モード解析 減衰...

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