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電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール

電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール
Paper図書
岡本, 孝太郎, 電気通信大学1992-1994<Y151-H04650263>
National Diet Library
  • Subject Heading多結晶シリコン薄膜 エキシマレーザアニール

アニール技術を用いた高性能シリコン薄膜トランジスタに関する研究

アニール技術を用いた高性能シリコン薄膜トランジスタに関する研究
Digital博士論文
野口, 隆
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Summary, etc....に実証を行ったものである。特にエキシマレーザアニール（ELA）を用いた、全工程が下地に影響を与えない低温プロセス...
  • Subject Heading薄膜トランジスタ エキシマレーザアニール 多結晶シリコン TFT ELA poly Si

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