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レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明

レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明
Digital文書・図像類
森本, 章治, Morimoto, Akiharu2016-04-21平成8(1996)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究概要 = 1996 Research Project Summary1996p.2p.-
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  • Subject Headingレーザアブレーション 薄膜堆積機構 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) Pb欠損 蒸発モデル スパッタモデル 窒化チタンアルミ(TiAlN)電極 N欠損
  • Note (General)...PZT薄膜で生じるPb欠損は、スパッタモデルでも蒸発モデルでもいずれでもほ......の不均一性を有している。前者はスパッタモデルでのみ、後者は蒸発モデルのみ説明され、未だこの矛盾は解けてい...

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