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Digital文書・図像類
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- Subject Heading乾式洗浄 粒子飛散 パルスエアジェット Dry surface cleaning Particle...
- Note (General)...て,表面上に沈着させた微粒子のパルスエアジェットによる飛散実験を行なった.以下......3.1パルスあたりの飛散率は,パルスエアジェット噴射回数に対して指数関数的に減少し,F^*とパルスエアジェット噴射回数の関数として表現できる......関: 金沢大学工学部 出典：「パルスエアジェットによる表面の乾式洗浄」研究成果報告書 課題番号0545230...
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- Subject Heading微粒子 再飛散 パルスエアジェット 表面洗浄 発塵 Wafer Fine Particles ...
- Note (General)...ルスジェットが有効である。4.パルスエアジェットによる粒子の飛散率は、パルスジ......表面から除去できる。5.表面にパルスエアジェットを繰り返し噴射した場合、パルス......よらず常に一定に保たれる。6.パルスエアジェットによる粒子の飛散は、ジェット気流を噴射した際に生じる圧力波の...