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Digital文書・図像類
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- Subject Heading白色干渉 高精度計測 光路差 リアルタイム計測 段差 FPGA 振動 3次元形状
- Note (General)...の干渉像をFPGAで高速処理し光路差変化をnm精度で抽出して, 撮影が必要となる光路差のタイミングで白色光をフラッシュさせることで, 振動環境下で...
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