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- Subject Heading圧電共振子 音響多層膜 ZnO薄膜 LiTaO3結晶 MBE
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- Subject Heading計測工学 / 先端機能デバイス / 電子デバイス・機器 / 超音波センサ / エバネセント波 / エネルギー閉じ込め共振子 / エアフィルム・ダンピング / 分布定数等価回路
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- Subject Heading弾性表面波 擬似弾性表面波 ラブ波型表面波 表面波共振子 ラブ波型表面波共振子 IDT共振子 エネルギー閉じ込め型弾性表面波共振子
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- Subject Heading超音波 トランスジユーサ センサ マイクロマシニング 共振子 超音波流動 マニピユレータ マイクロマシン
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- Subject Heading五酸化タンタル 超音波トランスジユーサ 酸化亜鉛 圧電性 共振子 スパツタ パイレツクスガラス マイクロマシニング
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- Subject Headingジヤイロスコープ 圧電振動子 振動ジヤイロ 角速度センサ ジヤイロセンサ 双共振子
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- Subject Heading四ホウ酸リチウム チヨクラルスキー バルク波振動子 表面波デバイス 零温度係数 表面波共振子 機械的品質係数 結合係数
Digital博士論文
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- Subject Heading配向制御 ビスマス層状化合物 圧電セラミックス 共振子 TGG法