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スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
Paper
図書
阿部良夫, 北見工業大学 [著]
[阿部良夫]
2006-2007
<Y151-H18560297>
National Diet Library
Subject Heading
反応性スパッタリング / 水和酸化物 / 水酸化物 /
固体電解質薄膜
/ 電気化学 / エレクトロクロミック / スーパーキャパ...
スパツタ法によるNa2O-AL2O3系ハイブリツド
固体電解質薄膜
の作成と評価
スパツタ法によるNa2O-AL2O3系ハイブリツド固体電解質薄膜の作成と評価
Paper
図書
延谷, 宏治, 大阪大学
1986-1987
<Y151-S61550577>
National Diet Library
Subject Heading
固体電解質薄膜
βアルミナ 薄膜超イオン伝導体 高周波スパツタリング 超音...
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