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圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
Paper
図書
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
1999-2000
<Y151-H11650118>
National Diet Library
Subject Heading
レーザートラツキング 圧電素子 微小位置決め
微動ステージ
多自由度位置決め 空間座標測定 非接触測定 三角測量
キヤパシタンスによる走査型デシミクロン顕微鏡
キヤパシタンスによる走査型デシミクロン顕微鏡
Paper
図書
田村, 進一, 大阪大学
1987-1989
<Y151-S62550288>
National Diet Library
Subject Heading
静電容量 顕微鏡 VHD 画像化 圧電アクチユエータ
微動ステージ
STM
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