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基準面を用いない高精度非球面X線ミラーの超精密形状計測に関する研究
基準面を用いない高精度非球面X線ミラーの超精密形状計測に関する研究
Paper
図書
東保男, 高エネルギー加速器研究機構 [著]
[東保男]
2004-2005
<Y151-H16360073>
National Diet Library
Subject Heading
X線光学素子 / 非球面ミラー / 形状計測 / スロープエラー /
法線ベクトル
測定 / ゴニオメータ / 基準面
法線と位置の連続検出型非接触プローブによる曲面の自律探査測定システムの試作開発
法線と位置の連続検出型非接触プローブによる曲面の自律探査測定システムの試作開発
Paper
図書
青山, 英樹, 慶応義塾大学
1993-1994
<Y151-H05555046>
National Diet Library
Subject Heading
非接触測定 位置ベクトル
法線ベクトル
自動計測 曲面 計算機モデル
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