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Paper図書
National Diet Library
- Subject Heading研削型超精密研磨 磁性流体 磁性スラリー 硬脆材料 表面粗さ 自由曲面創成
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- Subject Heading研削型超精密研磨 磁性流体 磁性スラリー 硬脆材料 表面粗さ 自由曲面創成 grinding-lik...
- Note (General)...究は,磁性流体に砥粒を懸濁した磁性スラリーを用いることにより,加工液を溜......ャ内部には永久磁石を配置して,磁性スラリーをポリシャ外周表面上に保持でき......平面創成ができること,さらに,磁性スラリーとして粒径の大きい砥粒による研磨の後,小さい粒径の砥粒によっ...