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圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
圧電素子駆動による高速スキヤナを用いた超高精度空間座標位置測定システムの開発
Paper
図書
久曽神, 煌, 長岡技術科学大学
1999-2000
<Y151-H11650118>
National Diet Library
Subject Heading
レーザートラツキング 圧電素子 微小位置決め 微動ステージ 多自由度位置決め
空間座標測定
非接触測定 三角測量
高精度5軸制御非接触型
空間座標測定
機の実用化に関する研究
高精度5軸制御非接触型空間座標測定機の実用化に関する研究
Paper
図書
丸山, 一男, 東京工業大学
1995-1997
<Y151-H07505002>
National Diet Library
Subject Heading
三次元座標測定機
空間座標測定
機 精密測定 非接触測定 画像処理式プローブ サブピクセル処...
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