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National Diet Library
- Subject Heading静圧気体軸受 静圧気体潤滑案内面 運動精度 製作精度 精度設計法 給気絞り形式
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- Subject Heading機械加工システム 精密加工 形状創成過程 数学モデル 精度設計
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- Subject Heading静圧気体案内面 エヤスライド 運動精度 製作精度 精度設計法 表面絞り
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- Subject Heading静圧気体軸受 回転精度 製作誤差 精度設計 軸受設計法 真円度誤差
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- Subject Heading気体軸受 静圧軸受 回転精度 軸受製作誤差 軸受剛性と減衰係数 精度設計 表面粗さ