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Digital文書・図像類
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- Subject Heading光音響分光法 PAS 熱伝導率 熱拡散率 薄膜の熱拡散率 InP Thermal Conductivity Si P...
- Note (General)...英基板に堆積した約1μmのSi薄膜の熱拡散率を求めた。光を照射した位置、つ......ば膜と基板の並列熱抵抗からSi薄膜の熱拡散率は0.65[cm^2/s]とも......うに石英基板およびその上のSi薄膜の熱拡散率を求めることに成功した。 Original point of...