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メゾメカニクス・アプローチによる高機能薄膜
被覆材料
の健全性評価
メゾメカニクス・アプローチによる高機能薄膜被覆材料の健全性評価
Paper
図書
星出敏彦, 京都大学 [著]
[星出敏彦]
2006-2007
<Y151-H18560078>
National Diet Library
Subject Heading
薄膜
被覆材料
/ メゾメカニクス / 健全性評価 / スパッタリング /...
機能性薄膜
被覆材料
の創成・構造・変形の分子動力学法による統合的解析と健全性評価
機能性薄膜被覆材料の創成・構造・変形の分子動力学法による統合的解析と健全性評価
Paper
図書
星出, 敏彦, 京都大学
2001-2002
<Y151-H13650087>
National Diet Library
Subject Heading
被覆材料
機能性薄膜 健全性評価 分子動力学法 薄膜構造 スパツタリ...
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