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微小傾角基板を用いた単一電子トンネル・デバイスの研究

微小傾角基板を用いた単一電子トンネル・デバイスの研究
Paper図書
菅野, 卓雄, 東洋大学1993-1995<Y151-H05452200>
National Diet Library
  • Subject Heading高精度微小傾角基板 ステツプ構造 異方性エツチング 表面反転層 単電子トランジスタ 量子ドツト 極微細パターン 非対称トンネル障壁

原子層ステップを利用した自己形成単電子ディジタル回路の試作

原子層ステップを利用した自己形成単電子ディジタル回路の試作
Paper図書
菅野卓雄, 東洋大学1995-1997<Y151-H07555112>
National Diet Library
  • Subject Heading微小傾角基板 自己形成化現象 鱗片状ステツプ/テラス構造 異方性エツチング 走査型トンネル顕微鏡 原子間力顕微鏡 単電子トンネル・トランジスタ 非対称トンネル障壁

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