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内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法

内部集光型レーザダイシングを用いたTEM試料用小片の切り出し手法
Digital文書・図像類
岩田, 博之, 高木, 誠, 坂, 公恭愛知工業大学2022-10総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.24p.83-84
Other Libraries in Japan
  • Subject HeadingTEM STEM 顕微鏡試料作製 イオンスライサー ステルスダイシング ボイド 転位

内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法

内部集光型レーザダイシングを用いたイオンスライサーのための前処理手法
Digital文書・図像類
岩田, 博之, 高木, 誠, 坂, 公恭, 河口, 大祐愛知工業大学2018-09-30総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.20p.75-76
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  • Subject HeadingTEM STEM 顕微鏡試料作製 イオンスライサー ステルスダイシング ボイド 転位

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