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高速原子線を用いたナノ・フアブリケーシヨン・センタの開発

高速原子線を用いたナノ・フアブリケーシヨン・センタの開発
Paper図書
中尾, 政之, 東京大学1996-1997<Y151-H08555064>
National Diet Library
  • Subject Heading高速原子線 除去 成膜 ペンシル形線源 集動マニピユータ

3次元構造を分解能サブμmで複製するマイクロ・メカニカル・リプロダクシヨンの試み

3次元構造を分解能サブμmで複製するマイクロ・メカニカル・リプロダクシヨンの試み
Paper図書
中尾, 政之, 東京大学1998-2000<Y151-H10355006>
National Diet Library
  • Subject Heading3次元構造 複製 微細転写 金型加工 微細切削 射出成形 高速原子線 プラスチツク

ナノ・マニユフアクチヤリング・ワールドの構築

ナノ・マニユフアクチヤリング・ワールドの構築
Paper図書
畑村, 洋太郎, 東京大学1993-1995<Y151-H05402036>
National Diet Library
  • Subject Heading微細加工 マイクロマシン 微細組立 高速原子線 紫外線レーザー 振動切削 一貫工程 電子顕微鏡

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