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Paper図書

渡辺, 一郎, 金沢大学1997-1999<Y151-H09650011>

National Diet Library

Digital文書・図像類

渡辺, 一郎, Watanabe, Ichiro2001-10-22平成11(1999)年度科学研究費補助金基盤研究(C) 研究成果報告書概要 = 1999 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1999p.2p.-

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Subject Headingダイヤモンド簿膜高周波CVD ESR 配向膜 3弗化炭素ダングリングボンド diamond film radio ...
Note (General)...原料として,エチルアルコールと3弗化炭素(CHF_3)を水素で希釈した......なった。1 エチルアルコールと3弗化炭素を用いても,堆積温度が350℃の低温で,3弗化炭素濃度が0.1〜0.6%の範囲で......れたのは550℃であったので,3弗化炭素を用いることで,かなりの堆積温度の低温化を果たしている。3 ...

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