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奇数次非球面の数学的基礎の解明と光学設計・開発への応用についての研究

奇数次非球面の数学的基礎の解明と光学設計・開発への応用についての研究
Digital博士論文障害者向け資料あり
田邉, 貴大2017-09-14
National Diet Library
  • Subject Heading...開 EUVL投影光学系 へそ Center artifact 正規分布関数 UA-3P プロジェクタ投射光学系

奇数次非球面の数学的基礎の解明と光学設計・開発への応用についての研究

奇数次非球面の数学的基礎の解明と光学設計・開発への応用についての研究
Digital博士論文
田邉, 貴大, Tanabe, Takao
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  • Subject Heading...開 EUVL投影光学系 へそ Center artifact 正規分布関数 UA-3P プロジェクタ投射光学系

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