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機能性流体を用いたマイクロ運動システムのためのマイクロフルイドパワー集積デバイス

機能性流体を用いたマイクロ運動システムのためのマイクロフルイドパワー集積デバイス
Paper図書
横田, 眞一, 東京工業大学1999-2001<Y151-H11305015>
National Diet Library
  • Subject Headingフルイドパワー マイクロ ERバルブ ER効果 機能性流体 サーボシステム 集積デバイス 液晶

ER流体のマイクロ流動とそのマイクロシステムへの応用

ER流体のマイクロ流動とそのマイクロシステムへの応用
Paper図書
中野, 政身, 山形大学1999-2001<Y151-H11450097>
National Diet Library
  • Subject Heading分散系ER流体 各種流れモード マイクロ流動特性 3ポートERバルブ PWM制御 ERマイクロポンプ 駆動法 フオトリソグラフイ

PWM制御マイクロERバルブとそのマイクロアクチユエータへの応用

PWM制御マイクロERバルブとそのマイクロアクチユエータへの応用
Paper図書
中野, 政身, 山形大学1997-1998<Y151-H09650262>
National Diet Library
  • Subject Heading分散系ER流体 マイクロERバルブ PWM制御 流動特性 流量特性 マイクロアクチユエータ P...

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