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結晶性絶縁膜によるMIS型トンネルエミツタの効率向上に関する研究

結晶性絶縁膜によるMIS型トンネルエミツタの効率向上に関する研究
Paper図書
宇佐美, 興一, 電気通信大学1994-1995<Y151-H06650387>
National Diet Library
  • Subject Heading真空管IC 冷陰極 トンネルエミツタ トンネル効果 トンネル電流 トンネル素子 MIS素子 フツ化物絶縁膜

電子管IC用MIS型トンネルエミツタに関する研究

電子管IC用MIS型トンネルエミツタに関する研究
Paper図書
宇佐美, 興一, 電気通信大学1992-1993<Y151-H04650340>
National Diet Library
  • Subject Heading冷陰極 トンネルエミツタ トンネル効果 トンネル素子 MIS素子 Si酸化膜 プラズマ酸化 ホロー放電

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