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多孔質シリコン3次元周期構造作製その構造･特性評価

多孔質シリコン3次元周期構造作製その構造･特性評価
Digital文書・図像類
前濱, 剛廣, 比嘉, 晃, 曽根川, 富博, Maehama, Takehiro, Higa, Akira, Sonegawa, Tomihiro前濱剛廣2004-05
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  • Subject Heading...極化成 X線ロッキングカーブ Selective anodization X線2結晶法 3次元周期構造 Self-cloning 電...
  • Note (General)...bstrate by the selective anodization method. The se......esist mask for selective anodization than Positive type photoresis...

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