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シリコン単結晶のマイクロ磨耗

シリコン単結晶のマイクロ磨耗
Digital文書・図像類
高木, 誠, 有馬, 則和, 岩田, 博之, 井村, 徹, 佐々木, 勝寛, 坂, 公恭愛知工業大学2003-07-20総合技術研究所研究報告=Bulletin of Research Institute for Industrial Technology.5p.51-54
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  • Alternative Titleシリコン タンケッショウ ノ マイクロ マモウ Microwear of Si Single Crystal
  • Alternative Titleシリコン タンケッショウ ノ マイクロ マモウ Microwear of Si Single Crystal

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