硬さ制御に基づく高表面品質、低転位GaN自立基板の実現

• 資料種別: 記事
• タイトル: 硬さ制御に基づく高表面品質、低転位GaN自立基板の実現
• 著者・編者: 藤倉 序章; 大島 祐一; 吉田 丈洋 他
• シリーズタイトル: 電子デバイス
• 著者標目: 藤倉 序章; 大島 祐一; 吉田 丈洋
• 並列タイトル等: Realization of Freestanding GaN Substrates with High Surface Quality and Low Dislocation Density by Crystal Hardness Control
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 111(290):2011.11.17・18
• 掲載巻: 111
• 掲載号: 290
• 掲載ページ: 19-24
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2011-11
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: GaN自立基板; 表面欠陥; 転位密度; ナノインデンテーション; 硬さ; freestanding GaN substrate; surface defect; dislocation density; nano-indentation; hardness
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED2011-77
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023345403; http://id.ndl.go.jp/bib/023345403
• 整理区分コード: 632