招待講演 異種材料・機能のマイクロ接合技術

• 資料種別: 記事
• タイトル: 招待講演 異種材料・機能のマイクロ接合技術
• 著者・編者: 浅野 種正
• シリーズタイトル: 集積回路
• 著者標目: 浅野 種正
• 並列タイトル等: Microjoining Technology for Semiconductor Heterogeneous Integration
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 111(327):2011.11.28-30
• 掲載巻: 111
• 掲載号: 327
• 掲載ページ: 1-6
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2011-11
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 三次元LSI; マイクロ接合; マイクロバンプ; 貫通電極; TSV; 3D LSI; microjoining; micro-bump; through silicon via
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ICD2011-81
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023367897; http://id.ndl.go.jp/bib/023367897
• 整理区分コード: 632