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高電圧帯電未知試料への静電気力顕微鏡センサー接近法

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高電圧帯電未知試料への静電気力顕微鏡センサー接近法

国立国会図書館請求記号
Z17-1656
国立国会図書館書誌ID
023470620
資料種別
記事
著者
上原 利夫ほか
出版者
東京 : 日本画像学会
出版年
2011
資料形態
掲載誌名
Imaging Conference Japan fall meeting 2011
掲載ページ
p.9-11
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
上原 利夫
齋藤 智晴
東尾 順平 他
並列タイトル等
A new methodology for letting an EFM sensor approach to a specimen having unknown and likely high voltage without any arcing
タイトル(掲載誌)
Imaging Conference Japan fall meeting
巻号年月日等(掲載誌)
2011
掲載巻
2011
掲載ページ
9-11
掲載年月日(W3CDTF)
2011