電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用(第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 電磁駆動型2軸可動MEMSグレーティングと近赤外低コヒーレンス干渉法を用いた3次元形状計測への応用
• 著者・編者: 渡部 善幸; 高橋 義行; 阿部 泰 他
• シリーズタイトル: 第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集
• 著者標目: 渡部 善幸; 高橋 義行; 阿部 泰
• 並列タイトル等: Electromagnetically Dual-axis Driven MEMS Grating, and its Application to 3D Profiling with Near Infrared Low Coherence Interferometry
• タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
• 巻号年月日等（掲載誌）: 132(2):2012.2
• 掲載巻: 132
• 掲載号: 2
• 掲載ページ: 31-36
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2012-02
• ISSN（掲載誌）: 1341-8939
• ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 近赤外分光; 電磁駆動; MEMSグレーティング; 低コヒーレンス干渉; 3 次元形状計測; Near infrared spectroscopy; Electromagnetic driving; MEMS-grating; Low coherence interferometry; 3D profiling
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-B380
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 023510327; http://id.ndl.go.jp/bib/023510327
• 整理区分コード: 632