多波長ワンショット干渉計測技術の開発と実用化 (特集 2011年度(第31回)精密工学会技術賞)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 北川 克一坪井 辰彦杉原 洋樹 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Development of Multi-Wavelength Single-Shot Interferometry and Its Practical Application
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 78(2)=926:2012.2
- 掲載巻
- 78
- 掲載号
- 2