WG8 : 浮遊分子状汚染物質に関する清浄度(ACC)の規格(ISO14644 Part 8)の改定及び表面分子状汚染物質に関する清浄度(SCC)の規格 (特集 ISO/TC209クリーンルームに関する国際規格の進捗状況)

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WG8 : 浮遊分子状汚染物質に関する清浄度(ACC)の規格(ISO14644 Part 8)の改定及び表面分子状汚染物質に関する清浄度(SCC)の規格

(特集 ISO/TC209クリーンルームに関する国際規格の進捗状況)

国立国会図書館請求記号
Z16-98
国立国会図書館書誌ID
023516565
資料種別
記事
著者
藤本 武利ほか
出版者
東京 : 日本空気清浄協会
出版年
2012
資料形態
掲載誌名
空気清浄 : コンタミネーションコントロール 49(5)=315:2012
掲載ページ
p.23-28
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
藤本 武利
並木 則和
並列タイトル等
WG8 : Standard for air cleanliness by chemical concentration (AAC), ISO 14644 part8 and surface cleanliness by chemical concentration (SCC)
タイトル(掲載誌)
空気清浄 : コンタミネーションコントロール
巻号年月日等(掲載誌)
49(5)=315:2012
掲載巻
49
掲載号
5