高周波MEMSのためのルテニウム微小電極パターンの作製法
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 松村 武江刺 正喜原田 博司 他
- 並列タイトル等
- Fabrication Technology of Ruthenium Microelectrode Pattern for RF MEMS
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 132(4):2012.4
- 掲載巻
- 132
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 71-76