ペルオキソニ硫酸アンモニウム溶液を用いた銅のエッチングレートに結晶構造が及ぼす影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 久保田 賢治新山 貴士松本 克才 他
- 並列タイトル等
- Influence of Crystallographic Structure on Etching Rate of Copper by Using Ammonium Peroxodisulfate Solution
- タイトル（掲載誌）
- エレクトロニクス実装学会誌 = Journal of the Japan Institute of Electronics Packaging
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 15(3)=100:2012.5
- 掲載巻
- 15
- 掲載号
- 3
- 掲載通号
- 100