六方晶AlN薄膜の膜性状と強度特性評価 (特集 X線材料強度)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 秋庭 義明渡邊 拓也
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Evaluation of Film Property and Strength in Hexagonal AlN Thin Film
- タイトル（掲載誌）
- 材料 / 日本材料学会 [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 61(7):2012.7
- 掲載巻
- 61
- 掲載号
- 7