ミストを用いた薄膜作製法の開発と電子デバイス実証 (特集酸化物半導体の新しい応用展開 : 酸化亜鉛,酸化ガリウム,さらに新しい材料を求めて)

ミストを用いた薄膜作製法の開発と電子デバイス実証

(特集酸化物半導体の新しい応用展開 : 酸化亜鉛,酸化ガリウム,さらに新しい材料を求めて)

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資料種別: 記事
タイトル: ミストを用いた薄膜作製法の開発と電子デバイス実証
著者・編者: 川原村敏幸
シリーズタイトル: 特集酸化物半導体の新しい応用展開 : 酸化亜鉛,酸化ガリウム,さらに新しい材料を求めて
著者標目: 川原村敏幸
並列タイトル等: Development of Thin Film Growth Method using "Mist" and its Application Demonstrated by the Electrical Device
タイトル（掲載誌）: 機能材料
巻号年月日等（掲載誌）: 32(12)=376:2012.12
掲載巻: 32
掲載号: 12
掲載通号: 376
掲載ページ: 34-42
掲載年月日（W3CDTF）: 2012-12
ISSN（掲載誌）: 0286-4835
ISSN-L（掲載誌）: 0286-4835
出版事項（掲載誌）: 東京 : シーエムシー出版
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-909
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024083951
http://id.ndl.go.jp/bib/024083951
整理区分コード: 632