高性能・低消費電力Siナノワイヤトランジスタ技術 (特集 ゲートスタック技術の表面・界面科学)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 沼田 敏典
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Si nanowire MOSFETs Techniques for High Performance and Low Power LSIs
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 33(11):2012.11
- 掲載巻
- 33
- 掲載号
- 11