UV/O₃アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上 (光エレクトロニクス)

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UV/O₃アシスト熱処理法による塗布型酸化物FETの特性向上

(光エレクトロニクス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
024149500
資料種別
記事
著者
酒井 渉ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2012-11-16
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 112(296):2012.11.16
掲載ページ
p.7-11
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
酒井 渉
山内 博
國吉 繁一 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Improvement of wet processed ZnO FET characteristics by UV/O₃ assisted thermal treatments
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
112(296):2012.11.16
掲載巻
112
掲載号
296