片持ち梁式ヒータと熱結合した温度センサからなる熱式MEMS真空センサの検討
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中塚 征室 英夫
- 並列タイトル等
- Study on Thermal MEMS Vacuum Sensors Consisting of a Cantilever-Type Heater and Thermally Coupled Temperature Detectors
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 133(2):2013.2
- 掲載巻
- 133
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 48-51