InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス (シリコン材料・デバイス)

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InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
024342323
資料種別
記事
著者
船山 裕晃ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2013-02
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 112(446):2013.2.27・28
掲載ページ
p.43-46
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
船山 裕晃
渡邉 龍郎
道又 賢司 他
シリーズタイトル
並列タイトル等
Field-Assisted Self-Assembly Process of InAs nanowires
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
112(446):2013.2.27・28
掲載巻
112
掲載号
446