集束イオンビームによるゲルマニウム表面ナノセル構造の作製
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 森田 憲治新田 紀子谷脇 雅文
- 並列タイトル等
- Fabrication of Ordered Nano-Cell Structure on Ge Surface by Focused Ion Beam
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 77(3):2013.3
- 掲載巻
- 77
- 掲載号
- 3
- 掲載ページ
- 64-69