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3次元積層を可能にするpoly-Si MOS駆動の相変化メモリ (Ⅳ族系半導体の現在・過去・未来)

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3次元積層を可能にするpoly-Si MOS駆動の相変化メモリ(Ⅳ族系半導体の現在・過去・未来)

国立国会図書館請求記号
Z15-243
国立国会図書館書誌ID
024582055
資料種別
記事
著者
笹子 佳孝ほか
出版者
東京 : 応用物理学会
出版年
2013-04
資料形態
掲載誌名
応用物理 82(4):2013.4
掲載ページ
p.313-316
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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
笹子 佳孝
木下 勝治
小林 孝
並列タイトル等
Phase-change memory driven by a poly-Si MOS transistor enabling three-dimensional stacking
タイトル(掲載誌)
応用物理
巻号年月日等(掲載誌)
82(4):2013.4
掲載巻
82
掲載号
4