軟X線照射によるSi系半導体の表面ナノ改質と低温結晶化 (表面改質による材料の新規性発現とその応用)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 松尾 直人部家 彰
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Surface nano-modification and low-temperature crystallization of Si-related semiconductors by soft x-ray irradiation
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 82(5):2013.5
- 掲載巻
- 82
- 掲載号
- 5