透明導電膜(ITO)のプロセスと膜特性 (小特集 最近のスパッタリング動向)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 新井 真
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Process and Film Properties of Transparent Conductive Oxide (ITO)
- タイトル（掲載誌）
- 表面技術 = Journal of the Surface Finishing Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 64(7):2013.7
- 掲載巻
- 64
- 掲載号
- 7