EUV光源開発の現状

国立国会図書館請求記号: Z15-8
国立国会図書館書誌ID: 024779187

資料種別: 記事

著者: 東口武史ほか

出版者: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

出版年: 2013-06

資料形態: デジタル

掲載誌名: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 89(6):2013.6

掲載ページ: p.341-348

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: EUV光源開発の現状
著者・編者: 東口武史
遠藤彰
溝口計
著者標目: 東口武史
遠藤彰
溝口計
並列タイトル等: Progress in Extreme Ultraviolet (EUV) Source Development
タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 89(6):2013.6
掲載巻: 89
掲載号: 6
掲載ページ: 341-348
掲載年月日（W3CDTF）: 2013-06
ISSN（掲載誌）: 0918-7928
ISSN-L（掲載誌）: 0918-7928
出版事項（掲載誌）: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: extreme ultraviolet (EUV)
laser-produced plasma (LPP)
discharge-produced plasma (DPP)
high volume manufacturing (HVM)
droplet
tin
debris
pre-pulse
ion beam
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-8
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10458853
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10458853
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10458853
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 024779187
http://id.ndl.go.jp/bib/024779187
整理区分コード: 632